A. B. Hutchinson, P. Truitt, K.C. Schwab, L. Sekaric, J. M. Parpia, H. G. Craighead, and J. E. ButlerAppl. Phys. Lett., 84 972-974 (2004). http://dx.doi.org/10.1063/1.1646213 Pub131.pdf